供应片盒清洗机(图)-中国商业企业

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供应片盒清洗机(图)

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企业名称：北京华林伟业电镀器械有限公司

企业类型：有限责任公司

经营模式：生产/制造

所在地：北京通州区

联系人：田培培

发布日期：2008-8-20 9:36:53

有效期至：2009-8-20 9:37:00

田培培女士销售

电话：86-010-69592203-8026

移动电话：13693161674

业务沟通：

传真：86-010-69592203

地址：北京通州区小堡工业区华林街

邮编：101118

交易提醒:交易前请核实营业执照或身份证杜绝受骗

1. 主要指标：
1.全自动形式。
2.外形尺寸3100×1400×2500（长×宽×高）
3.适用硅片：4寸（可根据客户要求待定）
4.装片能力：50片/批（2花篮，25片/花篮）
5.工作区洁净度：100级
6.槽间工艺转换时间：Tmax≤3.5s
2. 1.设备由五大部分组成：清洗槽部分、伺服系统及机械臂部分、层流净化系统、电气控制系统、机架及整机。
2  .清洗槽部分由有机溶剂槽、去离子水槽、酸槽或碱槽等组成。
3.  关键件采用进口件，包括气动阀，PFA管道、全氟循环系统，保证工作介质（酸、碱）的洁净度，避免杂质析出。
4.  工艺过程全自动，机械手在槽间的转换由两套伺服系统控制，可存储多条工艺时序，方便使用。
5. 除装片和取片需人工外，其余工艺动作均可自动完成，适用连续批量生产。
6. 人机界面为触摸屏，方便直观；界面中有故障报警，安全保护，工艺时序号等功能。
7.工作区设净化装置，内置高效过滤器，满足工作区净化要求（1000—100级，10级为特制）。

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